9月10日ღ◈◈，为期3天的第26届中国国际光电博览会（CIOE中国光博会）与SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展在深圳国际会展中心开幕ღ◈◈。

　　记者获悉ღ◈◈，陕西光电子先导院科技有限公司（以下简称陕西光电子先导院）携六吋车规级VCSEL阵列晶圆 ღ◈◈、六吋球面硅透镜晶圆ღ◈◈、六吋非球硅透镜晶圆ღ◈◈、八吋无源SOI集成氮化硅晶圆等7项成果亮相ღ◈◈，重点展示化合物平台和硅光平台的技术突破与创新成果吃饭时还在她身体里ღ◈◈，吸引了诸多参观者的目光ღ◈◈。

　　作为见证并推动中国光电产业从追赶到领跑的“行业风向标”吃饭时还在她身体里ღ◈◈，本届CIOE中国光博会延续“全产业链覆盖”的核心优势ღ◈◈，覆盖信息通信ღ◈◈、光学ღ◈◈、激光ღ◈◈、红外ღ◈◈、传感ღ◈◈、AR/VRღ◈◈、新型显示及光电子创新等八大核心领域ღ◈◈，形成“光电产业矩阵”ღ◈◈。此次展会以超30万平方米的展示规模ღ◈◈、汇聚5000余家参展企业ღ◈◈，树立起“光电子+半导体”产业协同发展的全新标杆尊龙凯时-人生就是博中国官网ღ◈◈，为全球科技产业突破技术壁垒ღ◈◈、激活创新动能注入强劲动能ღ◈◈。

　　据了解ღ◈◈，陕西光电子先导院在国内率先提出“1+N”柔性平台模式ღ◈◈，以6英寸化合物半导体芯片吃饭时还在她身体里ღ◈◈、8英寸硅光芯片为双主平台ღ◈◈，同步配套磷化铟探测器ღ◈◈、砷化镓射频器件等多个特色工艺平台ღ◈◈，已拥有先进光电芯片关键核心设备200余台（套）ღ◈◈，并组建了200余人的技术和运营管理团队吃饭时还在她身体里ღ◈◈，形成覆盖核心制程与细分场景的柔性化中试能力ღ◈◈。

　　陕西光电子先导院总经理杨军红介绍ღ◈◈，6英寸化合物光电芯片工艺平台自2023年通线余款PDKღ◈◈，建立了GaAs单结单孔&阵列VCSELღ◈◈、GaAs多结阵列VCSELღ◈◈、GaAs 1D/2D可寻址VCSELღ◈◈、硅透镜ღ◈◈、GaAs集成无源器件5个类别的工艺中试能力ღ◈◈，涵盖消费电子ღ◈◈、工业尊龙凯时-人生就是博中国官网ღ◈◈、车载等多种应用场景ღ◈◈，目前已为50余家客户提供了研发ღ◈◈、中试尊龙凯时-人生就是博中国官网ღ◈◈、检测等全流程技术服务ღ◈◈。

　　“8英寸硅光平台于2023年底启动建设尊龙凯时-人生就是博中国官网ღ◈◈，目前已完成全部场地及硬件设施建设ღ◈◈。平台引进了比利时IMEC‘130nm硅光芯片工艺包’ღ◈◈，并引入了DUV光刻机ღ◈◈、PECVDღ◈◈、FIB等60余台关键设备ღ◈◈。”杨军红表示ღ◈◈，目前正在全力推进工艺调试及工艺开发ღ◈◈，已开发完成基于i-line的硅光无源SOI集成LPSINღ◈◈。

　　据介绍ღ◈◈，陕西光电子先导院是西安中科光机投资控股有限公司的控股子公司ღ◈◈。预计将于2026年完成基于ArF90nm工艺节点的有源硅光SOI集成SIN工艺ღ◈◈，包含高性能端面ღ◈◈，调制器ღ◈◈，探测器等核心器件尊龙凯时-人生就是博中国官网ღ◈◈，可应用于光通信ღ◈◈，激光雷达ღ◈◈，光陀螺尊龙凯时-人生就是博中国官网ღ◈◈，生物医药等领域ღ◈◈，可为国内光子产业各类创新主体提供多种类型光电ღ◈◈、硅光芯片的研发和中试服务ღ◈◈。

　　作为陕西省光子产业共性技术研发平台和陕西省光子产业链“链主”单位ღ◈◈，以及入选《首批工业和信息化部重点培育中试平台初步名单》的“光子集成产业中试平台”ღ◈◈，陕西光电子先导院始终致力于解决光子企业和科研院所项目在初始阶段“建不起产线ღ◈◈、产品无法验证吃饭时还在她身体里ღ◈◈、产能无话语权ღ◈◈、市场风险高”四大痛点问题吃饭时还在她身体里ღ◈◈。历经10年磨剑ღ◈◈，该院至今已为百余家初创企业“点亮”前行之光ღ◈◈，助推多项科技成果及产品实现进口替代ღ◈◈。

　　杨军红指出ღ◈◈，为持续助推光子产业发展ღ◈◈，陕西光电子先导院于今年启动异质异构集成工艺平台规划建设ღ◈◈，该平台聚焦多材料（硅+化合物）异质集成技术和光电共封异构集成技术ღ◈◈，应用于下一代AI数据中心高速通讯ღ◈◈、高速光计算领域ღ◈◈，寻求算力ღ◈◈、带宽ღ◈◈、功耗与成本的最优解ღ◈◈，引领和支撑新一轮信息革命浪潮ღ◈◈。

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